上海复工复产如火如荼，半导体公司再斩获佳绩。记者获悉，近日，上海优睿谱半导体设备有限公司(简称“优睿谱”)首台半导体专用FTIR(傅立叶变换红外光谱)测量设备Eos200正式交付客户，这也是国内半导体量测设备公司首次实现FTIR设备交付。

　　FTIR是一款利用红外光谱经傅里叶变换进而分析各种外延层厚度以及元素浓度的测量设备，可用于测量一代半导体(硅外延片)、二代半导体(砷化镓、磷化铟衬底外延)、三代半导体(碳化硅、氮化镓外延片)、分子束外延(MBE)等的外延层厚度，光刻胶厚度及CMP 抛光后的厚度，以及测定半导体制程各种元素浓度。长期以来，半导体FTIR市场被Nanometrics(现Onto innovation)、赛默飞等国际设备厂商所垄断。

　　优睿谱介绍，跟国外竞品相比，Eos200是一款全自动测量设备，采用模块化设计理念，在核心部件、整机、软件等多个方面均进行了大幅创新设计，使得整机测量性能在达到国外竞品同等水平的情况下，还大幅降低了客户的使用及维护成本。尤其是，得益于卓越的供应链资源，优睿谱可大幅缩短设备交付周期。

　　资料显示，优睿谱成立于2021年，由长期从事于半导体行业的海归博士领衔，协同国内资深的半导体前道制程量测设备技术团队共同发起成立，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）